M5, Trzpienie gwiazdowe proste, kulka z azotku krzemu, trzon z węglika wolframu

Trzpienie gwiazdowe składają się z kulistych trzpieni w układzie gwiazdowym co umożliwia pomiary w różnych kierunkach współrzędnych. Pomiary powierzchni bocznych przy użyciu trzpienia z kulistą końcówką są możliwie wyłącznie w ograniczonym zakresie, natomiast trzpień gwiazdowy umożliwia wybranie trzpienia położonego prostopadle względem mierzonej powierzchni.

Węglik wolframu jest najczęściej stosowanym materiałem trzonu, łączy w sobie bardzo dobrą sztywność z akceptowalną rozszerzalnością cieplną. Jedynie waga może mieć negatywny wpływ w przypadku stosowania dużych trzpieni. Prosty trzon jest najprostszą konstrukcją trzpienia i ma najdłuższą długość użytkową. Cała długość trzonu może być używana jako długość pomiarowa. Trzony z węglika wolframu stanowią dobrą kombinację pod względem wagi, sztywności i rozszerzalności cieplnej.

Trzpienie z azotku krzemu są równie uniwersalne jak trzpienie rubinowe. Jednak charakteryzują się mniejszymi osadami materiału podczas skanowania aluminium lub innych miękkich materiałów. Nie oznacza to jednak, że osady nie występują. W przypadku kulek SiN również pojawia się ten problem, jednak dopiero na późniejszym etapie procesu. Ze względu na niemal identyczną twardość w porównaniu do rubinu, kulki SiN są równie podatne na ścieranie powierzchni podczas pomiaru twardych, ściernych materiałów.